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半导体产业的良率分析
有效的良率分析能达到精确的良率预测,并且确保在制品(WIP)适当的标准。下面是关于 PV-WAVE 如何提供适合的分析架构来增加良率的可预测性、确保良率问题的快速响应时间、监控制程工具的效能、改善维修排程、减少芯片损失等方法的一个概述。

PV-WAVE 产品家族内含业界标准的 IMSL 数值链接库,结合我们的专业咨询技术,提供快速、灵活的分析,将您晶圆制程的专业数据以可视化方式呈现,显著的提高您的投资报酬率(ROI)。

良率分析技术
  • Lot 质量控制
    良率参数的统计分析是良率分析中一个重要的观点,一个根据您独特需求而定做,简单且直觉的接口,可以让您的分析集中在重要的良率管理改善上,而不会浪费无谓的时间在如何操作应用系统或撷取数据上。

Lot 质量管理范例 >>

  • 晶圆图
    观察晶圆图是另一项寻找良率问题及了解缺陷特征的技巧。透过晶圆图,您的分析人员可以深入到个别晶圆来观察特定的错误,或是观察迭图来确认有意义的趋势,进而改善晶圆制程的作业效能。

晶圆图范例 >>


   
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